Им Эффективные машины точные особенности в жестком, хрупкие материалы, такие как стекло, спроектированная керамика, CVD SiC, кварц, монокристаллические материалы, PCD, ферритовый, графит, стеклообразный углерод, композиты и пьезокерамика. почти безграничное количество функций фигуры, включая круглый, квадрат и нечетные Черные отверстия и полости различных глубин, а также OD-ID Особенности - банка быть обработанным с высоким качеством и согласованностью (см. Рисунок 3). Особенности в размере от 0,008 в. В небольших заготовках возможны до нескольких дюймов, вафли, большие подложки и материалы Blowers. Соотношение сторон максимально 25-к-1 Возможны, в зависимости от типа материала и функции Размер.
Вариации размера функций, глубины формы и полости обычно удерживаются в пределах допуска ± 0,002 в., В то время как более жесткие допуски возможны в зависимости от требований к применению и процессам параметры. Обработка деталей с предубежденными обработанными функциями или металлизация Возможно, не влияя на целостность предшествующих особенностей или поверхностной отделкой заготовки. Метозное Толерантность признаков относительно Fiducials или предпринимающие особенности обычно проводятся в пределах ± 0,002 в., И хотя Твердые допуски возможны в зависимости от Применение.
Рисунок 4. A Обработанный им. квадратное отверстие в 0,0175-дюймовый. толстый стекло. Обработанная функция имеет чистый край, а натуральный угол радиуса < 0,005 в.
В отличие от обычных методов обработки, ультразвуковая обработка производит мало или нет подповерхность Ущерб и нет воздействие на тепло зона. Качество ультразвукового разреза обеспечивает снижение стресса и более низкую вероятность переломов, которые могут привести к устройству или сбою приложения на срок службы продукта (см. Рисунок 4). Им особенно хорошо подходит для высокая надежность Приложения Где Сохранение свойств критических материалов и избежания введения остаточных напряжений от процессов обработки жизненно важно для проекта Успех.
Дополнительное преимущество заключается в том, что детали, обработанные ультразвуками, часто бывают лучше в процессах обработки ниже по потоку чем Детали детали, обработанные с использованием более обычной обработки Методы. Улучшенная производительность может привести к экономическим преимуществам от более высоких выходов, более низких оболочек и эксплуатационных расходов, а также улучшенных эффективность.
Сотовая структура, обработанная на задней части кремниевого зеркала для НАСА.