по сравнению с традиционным двух жидкости Опрыскивание, ультразвуковое распыление имеет преимущества высокой однородности покрытия, утилизацию высокого сырья, высокой точностью контроля толщины покрытия, более тонкое покрытие толщины покрытия, менее заблуждение, не засорение сопел, а также низкое обслуживание затраты. По сравнению с вакуумным испарением, CVD И другие процессы покрытия, ультразвуковое распыление является более экономичным процессом покрытия тонкопленочного пленки, особенно для более крупной области области Подготовка. Стоимость ультразвукового распылительного оборудования намного ниже чем Это из вакуумного покрытия оборудование. Давайте кратко представим эти Основные преимущества ультразвуковых распыление.

Однородность высокого покрытия

Однородность распределения жидких частиц после распыления ультразвуковой форсунки значительно выше чем что из двух жидкости Насадка, также известное как пистолет с распылением воздуха, так что однородность покрытия после ультразвукового распыления сопла также значительно улучшена. Как правило, однородность ультразвукового распылительного покрытия может достигать больше чем 95%.

2. Утилизация высокого сырья и менее всплеск

Потому что Ультразвуковое распыление является распылением жидкости ультразвуковой вибрацией, покрытие не распыляется во время Процесс распыления, то есть процесс распыления не требует давления, а только очень низкое давление газа носителя наносится после распыления для транспортировки жидкости тумана. Это значительно уменьшает отказов и всплеск жидкости, вызванные воздухом высокого давления, распыляемыми двумя жидкостями, тем самым значительно улучшают скорость использования покрытие. Скорость утилизации сырья ультразвукового распыления больше чем 4 раза превышает обычное распыление воздуха, и скорость использования может достигать больше чем 90%.

3. высокая точность контроля толщины покрытия

Основным фактором, который влияет на точность толщины покрытия, является распыление расхода покрытия, то есть количество материала, переносимого на подложку на подразделение Время. Ультразвуковая распыляющая головка не имеет никакого давления на жидкость, поэтому она может полностью контролировать поток жидкости распылительного распылительного покрытия высокоточная Дозирующий насос, тем самым достигая высокоточная Распылительный поток Управление. такие как высокоточная Шприцевой насос, его точность контроля потока может достигать уровня пиколитров за Во-вторых, и микро-канал Дизайн ультразвуковой форсунки также может достичь общего контроля точностью нанолитры за второй.

4. Тонкая толщина покрытия может достигать десятков нанометров

Потому что Объем распыления ультразвуковой распылительной головки может достигать очень низкой стабильной скорости потока (0,001 мл / min), он может достичь очень небольшого количества загрузки на подложке, тем самым достигая очень тонкой сухой пленки. Для Некоторые наноматериалы, толщина сухого пленки может быть столь же низкой, как десятки нанометров. Его можно использовать для приготовления стеклянных тонких пленок, таких как прозрачная проводящая пленка, антибликовое антибликовое отражение Фильм Теплоэкранирование Фильм и гидрофобный фильм.

5. Нет засорения форсунок и низкой стоимости обслуживания

Потому что Ультразвуковое сопло представляет собой жидкость, распыляемую ультразвуковым колебанием, а распыленные частицы определяются ультразвуковой частотой колебаний, она отличается от двух жидкости насадка. Диаметр сопла не должен быть очень маленьким для достижения тонких распыленных частиц, поэтому снижает риск насадки засорение.